检测项目1.直径测量:量程0.1-10mm,分辨率0.1μm2.圆度误差:测量精度0.5μm(ISO12181标准)3.直线度偏差:最大允许误差0.003mm/100mm4.表面粗糙度:Ra值范围0.05-6.3μm(GB/T3505-2021)5.维氏硬度:载荷范围10-1000gf(ASTME384-22)检测范围1.金属材料:不锈钢/钛合金/铝合金精密轴件2.陶瓷部件:半导体封装用氧化锆探针3.工程塑料:PEEK/POM材质传动齿轮4.复合镀层:DLC涂层刀具刃口部位5.微型轴承:内径≤3mm的微型