检测项目1.声波频率稳定性:20-40kHz范围内波动值≤1.5%2.气流压力均匀性:工作压力0.2-0.8MPa时偏差≤5%3.温度控制精度:设定温度2℃内波动4.噪声水平:距设备1m处≤85dB(A)5.密封性能:0.6MPa保压30分钟泄漏率<0.1%检测范围1.金属套管组件(304/316L不锈钢)2.聚合物密封件(PTFE/Viton材质)3.压电陶瓷换能器(PZT-5H/PZT-8型)4.空气过滤系统(HEPA/ULPA级滤芯)5.控制系统电路板(IP65防护等级)检测方法1.ASTME105