检测项目1.衍射效率测试:测量波长范围200-2000nm,角度分辨率0.012.光栅常数校准:精度0.1nm(500-1200线/mm)3.槽形轮廓分析:三维粗糙度Ra≤5nm(1μm1μm区域)4.波前畸变检测:PV值≤λ/10@632.8nm5.抗损伤阈值测试:激光功率密度≥5J/cm(1064nm,10ns)检测范围1.光学玻璃基底全息光栅(K9、熔石英)2.金属薄膜反射式光栅(金膜、铝膜)3.聚合物软压印衍射光栅4.半导体刻蚀闪耀光栅(硅基、砷化镓基)5.超表面纳米结构光栅(周期<500nm)检