检测项目1.线宽偏差:测量实际线宽与设计值的差异范围(0.1μm~5μm)2.边缘粗糙度:量化线条边缘波动幅度(Ra0.02-0.5μm)3.线宽均匀性:评估同一平面内线宽变化率(≤3%)4.侧壁角度:检测线条截面倾斜角度(85-95)5.临界尺寸一致性:监控批量产品线宽标准差(σ≤0.15μm)检测范围1.半导体晶圆:光刻线路/晶体管栅极结构2.PCB基板:高频电路/微带传输线3.光学掩膜版:光栅结构/衍射元件4.金属薄膜器件:MEMS传感器/薄膜电阻5.柔性电子器件:OLED阳极线路/纳米银线电路检测