靶材检测

检测项目

化学成分检测：

• 主元素含量：纯度≥99.95%(SEM-EDS定量)
• 气体杂质：氧含量≤500ppm、氮含量≤200ppm(ASTM E1019)
• 痕量金属杂质：Fe≤10ppm、Ni≤5ppm(ICP-MS)

物理性能检测：

• 密度测试：相对密度≥98%(GB/T 3850)
• 孔隙率：Ⅰ类孔隙≤0.5%(金相法)
• 导热系数：Cu靶≥350W/m•K(ASTM E1461)

微观结构分析：

• 晶粒度：平均尺寸≤50μm(EBSD法)
• 取向分布：<100>取向占比≥80%(XRD极图)
• 第二相分布：析出物尺寸≤5μm(ISO 13383-1)

力学特性测试：

• 抗弯强度：Al₂O₃陶瓷靶≥300MPa(ISO 14704)
• 显微硬度：Mo靶HV0.3≥180(GB/T 4340.1)
• 残余应力：压应力≤200MPa(sin²ψ法)

表面特性检测：

• 粗糙度：溅射面Ra≤0.8μm(ISO 21920-2)
• 平面度：Φ200mm靶材≤0.05mm(激光干涉法)
• 清洁度：颗粒污染物≤Class 5(IEST-STD-CC1246D)

电学性能测试：

• 电阻率：ITO靶≤2×10⁻⁴Ω•cm(四探针法)
• 阻抗均匀性：偏差≤±5%(涡流检测)

热稳定性验证：

• 热膨胀系数：Ti靶(6.0±0.5)×10⁻⁶/K(ASTM E228)
• 高温变形量：300℃保温2h挠曲≤0.1mm

溅射性能评估：

• 溅射速率：Cu靶≥800nm/min(Ar⁺束流1.0A)
• 膜厚均匀性：≤±3%(300mm晶圆)

结合强度测试：

• 背板焊合强度：旋转靶≥35MPa(ISO 4624)

无损检测：

• 超声波探伤：缺陷尺寸≤Φ0.5mm(EN 12668-1)
• X射线检测：内部裂纹≤10μm(ASTM E1695)

检测范围

1. 高纯金属靶材： 铜/铝/钛等(纯度≥99.99%)，侧重晶界夹杂物与氧含量控制

2. 合金靶材： 镍铬/钴铁硼等，检测成分偏析与相结构稳定性

3. 氧化物陶瓷靶： ITO/AZO等，验证电阻率均匀性与致密烧结质量

4. 氮化物靶材： TiN/AlTiN等，分析相纯度与溅射离解率

5. 硅化物靶材： 钨硅/钛硅等，监测硅挥发引起的成分偏差

6. 硒化物靶材： CIGS薄膜太阳能靶，控制Se含量波动(±0.3at%)

7. 旋转管状靶： 重点检测焊缝强度与壁厚均匀性(公差±0.1mm)

8. 拼接平面靶： 界面间隙≤10μm与电阻匹配性检测

9. 特殊形态靶： 非对称异形靶的动平衡(≤0.5g•mm/kg)

10. 复合结构靶： 铜钼复合层结合力≥20MPa

检测方法

国际标准：

• ASTM E112-13 晶粒度测定方法
• ISO 4499-2:2020 硬质合金孔隙率检测
• JIS H 7804 金属靶材XRD织构分析
• SEMI F47-0708 溅射靶材表面洁净度
• ASTM F2405 旋转靶超声波探伤

国家标准：

• GB/T 25995-2010 陶瓷靶材密度测试
• GB/T 36064-2018 溅射靶材显微硬度
• GB/T 36590-2018 靶材电阻率四探针法
• GB/T 3850-2015 致密烧结体密度测定

(方法差异说明：ASTM E112采用截点法测晶粒度，GB/T 6394优先使用面积法；ISO 4499-2规定孔隙尺寸分级，国标GB/T 3488按数量分级)

检测设备

1. 辉光放电质谱仪： GD-MS Profiler HR型(检测限0.001ppm)

2. 场发射电镜： FE-SEM SU5000(分辨率0.8nm@15kV)

3. 电子背散射衍射仪： EBSD Symmetry S2(取向分辨率0.1°)

4. X射线衍射仪： XRD SmartLab 9kW(2θ精度±0.0001°)

5. 电感耦合等离子体质谱： ICP-MS NexION 5000(检出限ppt级)

6. 显微硬度计： FM-810(载荷范围1gf-20kgf)

7. 白光干涉仪： ContourGT-K(垂直分辨率0.1nm)

8. 四探针测试台： RTS-9(电流范围1μA-100mA)

9. 超声波探伤仪： USM Go+(频率范围0.5-15MHz)

10. 万能材料试验机： E45.305(载荷300kN，精度±0.5%)

11. 激光热导仪： LFA 467 HyperFlash(温度范围-120~500℃)

12. 残余应力分析仪： XStress 3000G2(ψ角范围±60°)

13. 氦质谱检漏仪： ASM 340(检漏率5×10⁻¹²Pa•m³/s)

14. 高温热膨胀仪： DIL 806(最高温度1600℃)

15. X射线荧光光谱仪： XRF ZSX Primus IV(元素范围B-U)

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于靶材检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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