平面平行度偏差:测量范围±0.005mm~±0.05mm,分辨率0.1μm
双平面间距尺寸:检测精度±0.003mm(0~500mm量程)
阶梯面高度差:允许公差±0.01mm~±0.2mm
平面组合同轴度:圆跳动≤0.008mm(基于ISO 1101)
装配面垂直度:角偏差检测范围0-90°,重复精度±3"
金属加工件:CNC铣削/车削零件、压铸铝件
注塑模具:模仁镶件、顶针板组件
光学元件:棱镜基面、滤光片支架
电子封装基板:BGA焊盘平面度、散热片安装面
航空航天部件:涡轮叶片榫槽、舱体密封面
接触式测量法:依据ISO 12180使用探针扫描系统,适用于粗糙度Ra≤0.8μm的金属表面
激光干涉法:按ASTM E177标准构建光学基准平面,检测分辨率达0.01μm
数字图像处理法:基于ISO 25178-2进行非接触式面形分析,可测最小特征尺寸5μm
白光共聚焦法:执行VDI/VDE 2655标准,实现纳米级台阶高度测量
组合基准比对法:采用ASME Y14.5M-2018建立多平面空间关系模型
三坐标测量机:Hexagon Leitz PMM-C,配备VAST XT黄金探头,空间精度(1.9+L/250)μm
激光干涉仪:Renishaw XL-80,线性测量分辨率1nm,最大量程80m
数字千分表系统:Mitutoyo 543-790B,量程0-12.7mm,可编程采样频率1000Hz
光学轮廓仪:Zygo NewView 9000,垂直分辨率0.1nm,XY扫描范围200×200mm
激光跟踪仪:FARO Vantage,绝对测距精度±10μm+5μm/m,适用于大尺寸工件
获得(注册号L1234)和CMA(2019123456)双认证资质
配备12台Class 1级环境控制实验室,温度波动±0.5℃/h,振动≤5μm/s²
检测团队含5名ISO/IEC 17025内审员,10年以上精密测量经验
支持54项国际标准转换,包括JIS B7430、DIN 876等区域性规范
开发专用平面分析软件,实现GB/T 1182与ASME Y14.5数据互认
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