皮拉尼测试

检测项目

1. 真空压力范围：10⁻¹ Pa至10³ Pa线性度误差≤±3%

2. 热丝电阻漂移：额定电流下24小时漂移量≤0.5%

3. 气体类型适应性：N₂/Ar/He响应系数偏差≤15%

4. 温度稳定性：-20℃至80℃范围内零点漂移≤0.1%/℃

5. 响应时间：压力阶跃变化时T90≤500ms

检测范围

1. 金属材料放气率：不锈钢/铝合金/钛合金在10⁻⁴ Pa级真空下的放气速率

2. 半导体封装气密性：QFN/BGA/CSP封装内部残余气体压力监测

3. 真空镀膜设备：磁控溅射腔体本底真空度验证

4. 低温泵性能：氦气回收系统极限压力测试

5. 航天器件密封性：星载仪器舱体泄漏率定量分析

检测方法

ASTM E296-17《Standard Test Method for Measuring Reaction Rates by Radioactivation of Neptunium-237》热传导法修正条款

ISO 3567:2011《Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge》比对校准规程

GB/T 3163-2007《真空技术 皮拉尼真空计校准方法》零点校准与量程修正程序

GB/T 6070-2007《真空技术 管路和内腔体放气率的测定》动态流量法联用方案

SEMI F73-0308《Guidelines for Pirani Gauge Applications in Semiconductor Processing Equipment》温度补偿算法

检测设备

1. INFICON PCG550：量程1×10⁻¹~1×10³ Pa，带NIST可溯源校准证书

2. Leybold THERMOVAC TM210：集成Pt100温度传感器补偿功能

3. Agilent UHV-24P：适用于腐蚀性气体环境的铱涂层热丝组件

4. MKS 925B：RS485数字输出型，支持Modbus通讯协议

5. Edwards ActiveGauge TIC200：双通道差分测量模式

6. Pfeiffer TPR280：配备分子流修正算法的宽量程探头

7. Canon Anelva GP-300：专用于半导体工艺腔体的防爆型结构

8. SMC PSE530：IP67防护等级工业现场用传感器

9. VAT Vacuum Instruments VIT06：可编程PID控制加热模块

10. Kurt J. Lesker KJLC 350i：超高真空兼容型双模式探头

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于皮拉尼测试相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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