1. 加速电压稳定性:测量电压波动范围(±0.05%~±0.5%),重复频率误差≤1%
2. 脉冲宽度精度:时间分辨率达0.1ns,脉宽偏差≤±2%
3. 束流均匀性:横向分布均匀度≥95%,纵向漂移量<0.3mm
4. 动态响应时间:上升/下降沿时间≤5ns(额定负载下)
5. 热漂移特性:连续工作4小时温升≤3℃,束斑偏移量<0.1μm/℃
1. 半导体晶圆掺杂用电子枪
2. 金属薄膜沉积设备中的聚焦电子束源
3. 高能粒子加速器预注入器
4. 电子束焊接机核心发射模块
5. 真空镀膜系统阴极组件
1. ASTM E2936-18:电子束源动态特性测试规范
2. ISO 15472:2019:表面分析用电子枪性能评估方法
3. GB/T 20234-2021:电子光学器件脉冲响应测试标准
4. IEC 61788-25:2020:超导腔体电子注入系统测试规程
5. GB 5169.21-2017:电子枪热稳定性试验方法
1. KEITHLEY 2450源表:电压/电流输出精度±0.012%,支持μs级脉冲生成
2. Agilent DSOX9254A示波器:25GHz带宽,80GSa/s采样率
3. Ophir PD300-3W光束分析仪:空间分辨率1μm@300mm工作距离
4. FLIR A655sc红外热像仪:测温精度±1℃,热灵敏度<30mK
5. Keysight B2902A精密电源:最小电流分辨率10fA
6. Hamamatsu C10910D束流监测器:响应时间<0.5ns
7. Tektronix AWG70002A任意波形发生器:50GS/s信号生成能力
8. Pfeiffer Vacuum HiPace 700分子泵:极限真空度5×10^-8 mbar
9. Newport M-462-XY精密位移台:定位精度±0.1μm
10. Keithley 7510型静电计:最大输入阻抗10^16Ω
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
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