1.静态氦泄漏率测试:测量压力稳定状态下泄漏量(范围110⁻⁴~110⁻Pam/s)
2.动态累积法测试:记录单位时间氦浓度增量(精度5%)
3.真空箱法整体泄漏量:适用于密闭腔体(真空度≤510⁻Pa)
4.局部扫描定位测试:探针分辨率≤0.1mm
5.温度循环验证:-55℃~+150℃工况泄漏率变化监测
1.真空镀膜设备密封法兰与阀门组件
2.航天器推进剂贮箱焊缝与管路接头
3.半导体工艺腔室O型圈密封系统
4.医用CT球管金属陶瓷封装结构
5.LNG储罐双层绝热壁板真空夹层
1.ASTME499-20:质谱仪示踪气体法标准规程
2.ISO20486:2017:真空技术泄漏检测方法
3.GB/T12604.7-2021:无损检测术语泄漏检测
4.GB/T34632-2017:真空技术氦质谱检漏仪校准规范
5.MIL-STD-750-3:微电子器件密封性试验方法
1.PfeifferASM340:四极杆质谱仪(灵敏度510⁻mbarl/s)
2.Agilent9900:便携式氦检漏系统(集成机械泵+分子泵)
3.LeyboldPHOENIXL300i:双通道质谱分析模块
4.INFICONELT3000:双模式测试(真空/正压)
5.EdwardsTIC系列:涡轮分子泵组(极限真空510⁻⁸mbar)
6.Varian979系列:高灵敏度离子源(最小可检漏率110⁻Pam/s)
7.ShimadzuMSQ-8060:自动校准模块(符合ISO17025)
8.CanonANELVAM-200QA:多工位并行测试系统
9.KurtJ.LeskerLD2000:正压累积法专用传感器
10.EdwardsXDS35i:干式涡旋泵无油真空系统
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
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注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
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2、双方签订委托书,我方接收样品;
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