1.刻线密度偏差:测量实际刻线数与标称值的偏差范围(0.5lines/mm)
2.周期均匀性:全视场范围内周期波动量(≤0.02μm)
3.槽形对称度:槽底角偏差(0.5)与侧壁角差(≤1.2)
4.表面粗糙度:刻划区域Ra值(≤5nm@632.8nm波长)
5.衍射效率:一级衍射效率偏差(3%@设计波长)
1.平面衍射光栅(金属镀膜/全息型)
2.凹面聚焦光栅(曲率半径200-2000mm)
3.光纤布拉格光栅(周期525-1060nm)
4.微机电系统(MEMS)微光栅阵列
5.X射线多层膜光栅(周期10-100nm)
ASTME2863-18光谱衍射效率测试规程
ISO10110-7光学元件表面缺陷评估标准
GB/T13811-2019计量型光学显微镜线密度校准规范
ISO14978:2018几何量测量设备通用验收标准
GB/T32261.3-2015纳米级长度测量原子力显微镜法
1.ZygoVerifireMST干涉仪:表面形貌三维重建(PV值测量精度0.1nm)
2.KeyenceLK-G5000激光位移传感器:非接触式位移测量(分辨率0.02μm)
3.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:纳米级表面拓扑分析(Z轴分辨率0.05nm)
4.RenishawinVia显微拉曼光谱仪:微区结构特征分析(空间分辨率1μm)
5.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜:三维形貌测量(横向分辨率120nm)
6.AgilentCary7000紫外可见近红外分光光度计:衍射效率光谱测试(波长精度0.08nm)
7.MitutoyoCMM-CrystaPlusM574坐标测量机:宏观几何尺寸测量(空间精度1.1+L/350μm)
8.VeecoNT9100白光干涉仪:台阶高度与周期测量(垂直分辨率0.1nm)
9.HamamatsuC10910D光学参数分析仪:偏振特性与衍射角测量(角度分辨率0.001)
10.ZeissAxioCSM700共聚焦显微镜:微观缺陷自动识别(缺陷识别尺寸≥50nm)
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
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注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
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8、资质全,团队强,后期服务体系完善
1、工业问题诊断:包括失效分析、科学诊断、数据验证等,可以快速检测出产品问题,尽快止损;
2、其他鉴定服务:协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析;
4、研发使用:试验经验丰富,试验设备多,为科研工作提供数据支持;
3、高校论文:提供研究性实验数据、分析服务,给论文提供科学依据;
5、投标:检测周期短,准确性高,出具的第三方检测报告合法合规;
7、控制材料质量,进行产品内控,降低成本、风险。
1、与工程师沟通,确定具体的试验方案,我方报价;
2、双方签订委托书,我方接收样品;
3、进行细节沟通,我方进行试验测试;
4、试验测试完成,出具检测测试报告;
5、委托完成,我方提供售后服务。