分划格检测

检测项目

1.分划线宽度精度：测量线宽偏差值(0.5μm)
2.间距均匀性：相邻线条中心距波动量(≤1.2μm)
3.边缘粗糙度：Ra值(≤0.05μm)
4.正交度误差：X/Y轴向夹角偏差(≤3″)
5.材料热膨胀系数：温度循环(-40℃~+85℃)下的尺寸稳定性

检测范围

1.光学玻璃分划板(K9、熔融石英材质)
2.金属掩模板(不锈钢、因瓦合金)
3.光刻胶图形基板(硅片、蓝宝石衬底)
4.激光直写光栅(周期200-1000nm)
5.微电子封装对准标记(铜柱凸块结构)

检测方法

1.ASTMF1234-18：显微图像分析法测定线宽
2.ISO10110-7:2017：光学元件表面缺陷评价
3.GB/T1800.1-2020：产品几何技术规范基础公差
4.ISO14978:2018：几何量测量设备通用规范
5.GB/T26191-2010：光学分划元件通用技术条件

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪(面形精度0.1nmRMS)
2.MitutoyoQV-AX650高精度影像测量仪(重复精度0.3μm)
3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪(垂直分辨率0.01nm)
4.KeyenceVHX-7000数字显微镜(5000倍超景深观测)
5.HexagonOptivPerformance432三坐标测量机(空间精度1.8+L/300μm)
6.NikonMM-400测量显微镜(十字线瞄准精度0.2μm)
7.Agilent5500原子力显微镜(Z轴分辨率0.05nm)
8.ThermoScientificARLEQUINOX3000X射线衍射仪(晶格常数分析)
9.Instron6800系列万能材料试验机(载荷分辨率0.005%FS)
10.EspecPCT-322气候试验箱(温控精度0.5℃)

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于分划格检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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