真空熔封气密性氦质谱检漏

检测项目

泄漏率测量：

• 标准泄漏率：范围1×10⁻¹²至1×10⁻³mbar·l/s(参照ISO20485)
• 最小可检测泄漏：≤1×10⁻¹²mbar·l/s(精度±5%)

密封完整性测试：

• 整体密封强度：真空度维持≥10⁻⁶mbar(参照ASTME499)
• 局部泄漏点定位：灵敏度优于0.1mm²等效泄漏面积

真空度维持性能：

• 静态真空保持：压力上升率≤1×10⁻⁴mbar/h
• 动态真空稳定性：波动范围±0.5%

压力循环测试：

• 加压-减压循环：循环次数≥1000次，压力范围0.1-10bar
• 泄漏率变化率：≤±3%

温度适应性测试：

• 高温密封性能：工作温度-60°C至+200°C，泄漏率变化≤±5%
• 低温脆性评估：临界温度点-196°C(参照ISO20485)

环境模拟测试：

• 湿度影响评估：相对湿度95%RH下泄漏率偏差≤±2%
• 振动耐受性：频率10-2000Hz，加速度5g，泄漏率保持稳定

材料兼容性验证：

• 氦气渗透率：材料厚度0.1-5mm，渗透率≤1×10⁻¹⁰mbar·l/s·cm²
• 腐蚀敏感性：无腐蚀性气体接触泄漏变化(参照ASTMG31)

耐久性评估：

• 长期老化测试：时间≥1000小时，泄漏率增长≤10%
• 疲劳寿命预测：循环次数≥5000次

尺寸精度验证：

• 密封间隙测量：公差±0.01mm
• 表面平整度：Ra≤0.8μm

表面处理评价：

• 涂层附着力：剥离力≥10N/mm²
• 粗糙度影响：表面粗糙度Ra0.4-1.6μm对泄漏率影响评估

检测范围

1.半导体封装器件：包括IC芯片和MEMS器件，检测重点为微小泄漏率控制和真空维持能力，确保微电子可靠性

2.航天器密封组件：如卫星推进器阀门和舱体密封，侧重高压差环境下的泄漏率精度及振动耐受性

3.医疗植入物包装：涵盖心脏起搏器外壳和药物输送系统，重点检测生物兼容性密封及长期无菌性维持

4.真空管配件：包括阴极射线管和X射线管组件，专注高温环境下泄漏稳定性及材料渗透率

5.激光器模块：如光纤激光器密封壳体，检测核心为光学器件封装气密性及温度适应性

6.电池外壳密封：锂离子电池和固态电池组件，强调电解液泄漏预防及压力循环耐久性

7.光学器件封装：包括镜头模块和传感器窗口，重点评估表面处理对泄漏的影响及湿度耐受性

8.传感器外壳：如压力传感器和气体探测器，检测微小泄漏定位及环境模拟下的性能稳定性

9.核能设备密封：涵盖反应堆冷却系统密封件，侧重辐射环境下材料兼容性及长期老化测试

10.汽车电子控制单元：包括ECU模块和线束连接器，检测振动和温度冲击下的密封完整性

检测方法

国际标准：

• ISO20485:2017氦质谱泄漏检测方法
• ASTME499-11(2017)氦质谱检漏标准测试方法
• IEC60068-2-14环境测试方法

国家标准：

• GB/T12604.7-2021无损检测术语第7部分：泄漏检测
• GB/T15111-2022真空技术泄漏检测方法
• GB/T2423.10-2019环境试验振动测试

方法差异说明：ISO20485强调测试压力范围0.1-10bar，而GB/T15111规定更严格的真空度控制；ASTME499使用特定采样率，GB/T标准要求更高精度校准；IEC环境测试包含温湿度循环，GB/T版本增加本土化气候条件。

检测设备

1.氦质谱检漏仪：ModelHL-5000(灵敏度1×10⁻¹²mbar·l/s，响应时间<1s)

2.高真空泵系统：TypeVP-1000(抽速1000m³/h，极限真空10⁻⁷mbar)

3.压力校准装置：ModelPC-200(范围0.01-100bar，精度±0.1%)

4.环境模拟舱：SeriesES-300(温度-70°C至+250°C，湿度10-98%RH)

5.振动测试台：ModelVT-150(频率5-3000Hz，位移±10mm)

6.真空计：TypeVG-250(量程10⁻⁹至1000mbar，分辨率0.1%)

7.氦气回收系统：ModelHR-100(回收效率≥99%，纯度99.999%)

8.密封夹具：TypeSF-50(适用尺寸5-500mm，压力密封能力100bar)

9.数据采集系统：ModelDA-800(采样率100kHz，通道数32)

10.显微镜定位仪：SeriesML-100(放大倍数1000×，精度±1μm)

11.温度冲击试验箱：ModelTS-400(温变速率20°C/min，范围-65°C至+150°C)

12.表面粗糙度仪：TypeSR-300(测量范围Ra0.05-50μm，分辨率0.01μm)

13.材料渗透率测试仪：ModelMP-600(检测限1×10⁻¹¹mbar·l/s·cm²)

14.循环压力测试机：TypeCP-250(压力范围0-200bar，循环频率1Hz)

15.老化试验箱：SeriesAT-350(温度+150°C，时间控制0-5000小时)

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于真空熔封气密性氦质谱检漏相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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