四氟化硅检测

检测项目

1.纯度测定：≥99.99%(体积分数)，采用气相色谱法测定主成分含量
2.水分含量：≤5ppm(重量比)，通过电解法或露点法进行痕量水分析
3.酸度测试：以HF计≤0.1ppm(质量浓度)，采用离子色谱法测定酸性杂质
4.金属杂质：Al≤0.05ppm、Fe≤0.03ppm(ICP-MS法)
5.颗粒物浓度：≤100个/立方英尺(激光粒子计数器法)

检测范围

1.半导体级四氟化硅：用于高纯硅片蚀刻工艺的电子特气
2.光学级四氟化硅：氟化玻璃镀膜原料的纯度验证
3.工业合成气：磷肥生产副产物的成分监控
4.储运容器检验：钢瓶/槽车中残留物分析
5.环境监测：化工园区空气中SiF₄泄漏检测

检测方法

1.ASTME260-96(2021)：气相色谱法测定氟化物纯度
2.ISO8573-8:2019：压缩空气中颗粒物计数规范
3.GB/T5832.3-2011：气体中微量水分的电解法测定
4.GB/T28726-2012：气体分析空瓶处置技术要求
5.ISO19230:2020：气体采样系统性能验证标准

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD检测器，分辨率0.1ppm
2.MettlerToledoC30库仑法水分仪：测量范围0.1-1000ppm
3.PerkinElmerNexION350DICP-MS：检出限达ppt级金属分析
4.MalvernMastersizer3000激光粒度仪：0.01-3500μm粒径测量
5.VaisalaDM500露点仪：-80~+20℃露点温度测量
6.TSI9306-V激光粒子计数器：0.3-10μm颗粒物分级计数
7.ThermoScientificDionexICS-6000离子色谱系统：阴离子检出限0.1ppb
8.BrukerALPHAII傅里叶红外光谱仪：气体成分定性定量分析
9.INFICONHAPSITEER便携式气质联用仪：现场快速筛查系统
10.SwagelokSS-4BMF-TW取样钢瓶：316L不锈钢材质，50mL标准容积

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于四氟化硅检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

上一篇：磺甲基酚醛树脂检测
下一篇：铅当量检测

本文地址：https://www.beijianceshi.com/bjcs-info/3793.html