检测项目1.真空度范围:10-3Pa至10-9Pa量级测试2.漏率检测:灵敏度110-12Pam/s3.电磁屏蔽效能:30MHz-40GHz频段衰减值≥80dB4.介质耐压强度:DC0-50kV击穿电压测试5.残余气体分析:H2/O2/H2O分压比≤5%检测范围1.半导体元件:晶圆封装腔体/磁控溅射靶材2.真空镀膜设备:光学镀膜室/电子束蒸发源3.航天器部件:推进剂储罐/密封连接器4.医疗设备:粒子加速器真空腔/射线管5.科研仪器:超导磁体杜瓦/分子泵组检测方法1.ASTME493-06(2020)真空系