检测项目1.极限真空度:测量在标准工况下可达到的最低压力值(110-3Pa~110-1Pa)2.抽气速率:测试单位时间内气体排出量(0.5L/s~300L/s)3.泄漏率:采用氦质谱法测定系统密封性(≤110-9Pam3/s)4.温升特性:连续运行8小时监测泵体温度变化(ΔT≤45℃)5.振动噪声:评估空载/负载工况下的机械振动(≤75dB(A))检测范围1.油封旋片式前级泵(矿物油/合成油介质)2.干式螺杆真空泵(无油润滑型)3.耐腐蚀型前级泵(PTFE涂层/316L不锈钢材质)4.大抽速罗茨泵机组配套