检测项目1.沟槽宽度测量:精度0.05μm(0.1-50mm量程)2.深度公差验证:分辨率0.1μm(最大测量深度20mm)3.侧壁角度分析:角度偏差≤0.5(15-165范围)4.表面粗糙度检测:Ra0.05-6.3μm(符合ISO4288规范)5.边缘倒角半径:测量范围R0.01-R5mm(白光干涉法)6.三维形貌重建:Z轴分辨率1nm(视场2020mm)检测范围1.金属加工件:铝合金散热片/不锈钢液压阀块/钛合金航空结构件2.高分子材料:PTFE密封圈/PE管道连接件/PC光学导光板3.陶瓷基复合材