检测项目1.束斑直径测量:分辨率0.1μm级,测量范围0.1-10μm2.发散角计算:角度分辨率0.01mrad3.能量密度分布:空间分辨率2%误差4.焦深特性分析:轴向测量精度5μm5.脉冲稳定性测试:时间分辨率10ns级检测范围1.金属材料:钛合金/铝合金表面改性层2.半导体器件:硅基晶圆/Ⅲ-Ⅴ族化合物3.复合材料:碳纤维增强聚合物基体4.光学涂层:抗反射膜/高反射膜系5.生物医学材料:骨科植入物表面处理层检测方法1.ASTME2926-17电子束特性表征标准2.ISO22309:2011微束分析技