检测项目1.孔径尺寸及公差:测量0.05-0.5mm孔径的圆度误差≤2μm2.厚度均匀性:基材厚度0.1-0.3mm范围内波动值≤5%3.表面粗糙度:Ra≤0.4μm(接触式探针法)4.热膨胀系数:20-300℃区间CTE≤710⁻⁶/℃5.抗拉强度:≥450MPa(ASTME8标准试样)检测范围1.LCD面板用Invar合金荫罩2.OLED蒸镀用不锈钢精密荫罩3.光刻机投影掩模版镍基复合材料4.真空镀膜机用钛合金动态荫罩5.印刷电路板蚀刻用铜制定位荫罩检测方法1.激光共聚焦显微镜法(ISO25178-6