1.表面粗糙度:测量Ra值范围0.01-0.1μm,采用白光干涉仪进行三维形貌重构
2.元素浓度梯度:通过GDOES分析深度方向元素分布(精度0.5%)
3.相结构分析:XRD测定晶格畸变量(角度分辨率≤0.01)
4.显微硬度:纳米压痕法测试载荷20-500mN(误差3%)
5.残余应力:采用sinψ法X射线衍射测量(应变分辨率110⁻⁴)
1.航空航天钛合金/镍基高温合金部件
2.半导体碳化硅晶圆表面改性层
3.核反应堆锆合金包壳管
4.医疗器械钛基生物涂层
5.精密模具DLC类金刚石镀膜
1.ASTME2108:辉光放电光谱法测定元素深度分布
2.ISO14705:微束分析-电子探针定量分析方法
3.GB/T13321:钢铁表面渗层显微组织评级
4.ASTME384:材料显微硬度测试标准
5.GB/T7704:X射线光电子能谱分析方法通则
6.ISO14577:仪器化压痕硬度测试规程
1.FEINovaNanoSEM450场发射扫描电镜:实现5nm分辨率表面形貌分析
2.HORIBAGD-Profiler2辉光放电光谱仪:深度分辨率达1nm/层
3.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪:配备Euleriancradle多维样品台
4.FischerscopeHM2000显微硬度计:支持ISO14577全自动压痕测试
5.KLATencorP-7表面轮廓仪:垂直分辨率0.1nm的接触式测量
6.ThermoScientificK-AlphaXPS系统:单色AlKα光源(1486.6eV)
7.OxfordInstrumentsAZtecEnergyEDS系统:搭配大面积SDD探测器
8.ZEISSCrossbeam550FIB-SEM双束系统:30kV镓离子束刻蚀能力
9.RigakuSmartLabX射线衍射仪:配置高灵敏度HyPix-3000探测器
10.Agilent7900ICP-MS:检出限达ppt级的痕量元素分析
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
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