1.波前误差(WFE):测量λ/20RMS精度,波长范围400-1100nm
2.Zernike系数分析:分解前36项像差系数,重点监控Z4-Z9项球差分量
3.调制传递函数(MTF):空间频率0-200lp/mm范围内衰减特性测试
4.点扩散函数(PSF):全视场RMS半径≤0.5μm
5.斯特列尔比(StrehlRatio):目标值≥0.8@546nm
1.光学透镜:包括球面/非球面透镜、微透镜阵列等
2.显微物镜:数值孔径NA≥0.95的油浸物镜
3.投影光刻物镜:工作波长193nm/248nm的深紫外光学系统
4.激光系统组件:高功率激光聚焦镜组与扩束系统
5.天文望远镜:主镜直径≥500mm的反射式光学系统
1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷公差规范
2.ASTMF3127-18激光束波前畸变测试标准
3.GB/T13752-2021光学系统成像质量评价方法
4.ISO14999-4:2015光学干涉测量技术规范
5.GB/T26333-2010光学传递函数测量方法
1.ZygoVerifireMST+:动态干涉仪,精度λ/100PV,支持Φ300mm大口径测试
2.TriopticsOptiCentricDual:双光路中心偏测量系统,角度分辨率0.1arcmin
3.4DTechnologyAccuFiz:动态相移干涉仪,振动环境适应性≤1g加速度
4.BrukerContourGT-X3:白光干涉三维轮
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是关于球差检测相关介绍,如果您还有其他疑问,可以咨询在线工程师提交您的需求,为您提供一对一解答。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。
1、拥有完善的检测服务体系,科学、严谨、认证。
2、我院对已出过的报告负责。
3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。
4、检测服务领域广,可参考标准多(国标、企标、通标、工标、国际标准等)。
5、周期短,费用低,方案全。
6、支持定制化试验方案,数据更加科学准确。
7、全国上门取样/现场见证试验。
8、资质全,团队强,后期服务体系完善
1、工业问题诊断:包括失效分析、科学诊断、数据验证等,可以快速检测出产品问题,尽快止损;
2、其他鉴定服务:协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析;
4、研发使用:试验经验丰富,试验设备多,为科研工作提供数据支持;
3、高校论文:提供研究性实验数据、分析服务,给论文提供科学依据;
5、投标:检测周期短,准确性高,出具的第三方检测报告合法合规;
7、控制材料质量,进行产品内控,降低成本、风险。
1、与工程师沟通,确定具体的试验方案,我方报价;
2、双方签订委托书,我方接收样品;
3、进行细节沟通,我方进行试验测试;
4、试验测试完成,出具检测测试报告;
5、委托完成,我方提供售后服务。