1.平面度误差:测量表面与理想平面的偏差值(≤0.02mm/m)
2.直线度公差:线性轴系运动轨迹偏移量(5μm/1000mm)
3.垂直度偏差:正交轴线角度误差(≤3arcsec)
4.表面粗糙度:Ra值范围0.1-6.3μm
5.热变形量:温度梯度引起的尺寸变化(ΔL≤0.015mm/℃m)
6.振动频率响应:基频稳定性(0.5Hz@50Hz)
1.金属结构件:机床导轨/航空发动机叶片/精密模具
2.复合材料构件:碳纤维板/陶瓷基复合材料层压板
3.光学元件:平面反射镜/棱镜组/光栅基座
4.工程塑料制品:高精度齿轮/轴承保持架
5.半导体晶圆载体:硅片传输机械臂/真空腔体定位台
1.ASTME1155-20:非接触式激光平面度测量法
2.ISO230-1:2012:机床几何精度数字化评估规程
3.GB/T11336-2004:直线度误差三坐标测量规范
4.DIN876-2:2018:精密角尺垂直度校准程序
5.GB/T1031-2009:表面粗糙度轮廓法测量标准
6.ISO10816-1:1995:机械振动现场测量实施指南
1.CromaPlus7.10.7三坐标测量机:空间精度(1.8+L/350)μm
2.HP5529A双频激光干涉仪:位移分辨率0.001μm
3.TaylorHobsonFormTalysurfi1200轮廓仪:Ra测量范围0.01-50μm
4.RenishawXL-80激光跟踪仪:动态测量精度15ppm
5|ZEISSACCURA多传感器系统:支持接触/光学复合测量
6|MitutoyoCrysta-ApexS574三坐标机:温度补偿精度0.5μm/℃
7|KeysightN7788B光频域反射计:振动频率分辨率0.01Hz
8|BrukerContourGT-K光学轮廓仪:垂直方向分辨率0.1nm
9|FlukeTiX580红外热像仪:热灵敏度≤0.03℃
10|PolytecPSV-500扫描式激光测振仪:频率范围DC-25MHz
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
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