石英玻璃热膨胀系数测试

检测项目

1.线性热膨胀系数测定：20-300℃段α1、20-500℃段α2、20-700℃段α3、20-1000℃段α4，计算平均线膨胀系数，绘制α-T曲线，识别拐点温度，给出标准偏差与扩展不确定度。

2.瞬时热膨胀系数：以1℃/min速率连续升温，每0.5℃采集长度变化，微分得到瞬时α值，捕捉β-方石英转变异常峰，记录峰位、峰高、半高宽。

3.各向异性膨胀：沿轴向、径向、切向取样，检测不同晶面取向α差异，计算各向异性度Δα/α，评估熔拉方向残留应力。

4.退火前后对比：1100℃保温2h后随炉冷却，复测同一样品α值，计算退火释放率，判定应力松弛是否达到平衡。

5.热循环稳定性：室温↔800℃循环50次，每10次停机测长，记录永久伸长率，评价微裂纹萌生阈值。

6.低温膨胀：-150-20℃区间，液氮环境，测量超低温α，用于航天光学窗口低温对准设计。

7.玻璃化转变区膨胀：以0.2℃/min穿越Tg区，记录膨胀斜率突变，计算Tg温度与膨胀跳跃量ΔL/L。

8.掺杂区局部分布：离子掺杂试样，通过激光微膨胀计扫描，获得α二维分布图，判定掺杂均匀性。

9.表面与体膨胀分离：采用双光束干涉法，同步测表面台阶与体伸长，计算表面层αs与体αb差异。

10.长期恒温漂移：1000℃恒温100h，每1h记录长度，拟合漂移速率，预测十年热稳态尺寸。

11.热膨胀-密度耦合：同步测高温密度与长度，建立α-ρ关联模型，校正高温光学设计折射率。

12.应力-膨胀耦合：施加0-100MPa单轴拉应力，测α随应力变化斜率，评估服役载荷下热匹配偏移。

检测范围

1.熔融石英锭：半导体级高纯锭、气炼锭、电弧锭，直径50-450mm，高度100-800mm，用于拉制晶圆载板、光罩基板。

2.合成石英玻璃片：厚度0.1-50mm，尺寸5×5mm²-600×600mm²，适用于深紫外光刻透镜、激光腔镜、天文滤光片。

3.掺钛石英棒：钛质量分数0.1-5%，用于飞秒激光芯棒、光栅写入基体，检测掺钛区与纯基区α差异。

4.石英纤维：单丝直径3-100μm，丝束1-1000根，用于光纤传像束、航天隔热毡，检测轴向α及丝束间同步性。

5.石英管与法兰：外径2-300mm，壁厚0.5-15mm，用于扩散炉管、光伏硅舟，检测环向与纵向α匹配。

6.石英坩埚：太阳能级、半导体级，容积1-100L，检测底部、侧壁、口沿α梯度，防止高温软化变形。

7.掺杂石英窗：掺铈、掺铕防辐射窗，厚度2-30mm，检测辐照前后α变化，评估结构致密化。

8.微晶石英玻璃：含少量方石英微晶，尺寸10×10×2mm³，用于零膨胀平台，检测微晶含量与α负值区间。

9.石英-陶瓷复合层：石英层0.1-2mm，陶瓷基底3-10mm，检测界面α突变，判定热循环分层风险。

10.光刻掩模坯：6025基板、230×230×6.35mm³，检测Tg以下α稳定性，保证图形尺寸漂移<1nm/℃。

11.激光陀螺腔体：中空八面体、边长30-80mm，检测各轴α一致性，确保萨尼亚克频移温度自补偿。

12.深空探测光学窗：直径100-400mm，厚度5-30mm，检测-150-150℃全温区α，用于木星系探测辐射环境。

检测标准

国际标准：

ISO7991:2021、ASTME831-19、ASTME289-17、DIN52352:2019、JISR3251:2020、ASTME228-17、ISO11358-1:2022、ASTMD696-20、ISO11359-1:2021、ASTME1545-17、ISO4892-2:2022、ASTME2092-18、ISO21068-2:2021、ASTME1824-19、ISO11357-1:2022

国家标准：

GB/T16920-2015、GB/T15728-2021、GB/T7962.1-2019、GB/T34184-2017、JC/T655-2012、GB/T37780-2019、GB/T40296-2021、JC/T2207-2014、GB/T36265-2018、JC/T2687-2022、GB/T38978-2020、JC/T2582-2021、GB/T40408-2021、JC/T2639-2021、GB/T41032-2021

检测设备

1.推杆式热膨胀仪：温度范围-150-1000℃，位移分辨率0.1μm，载荷10-50mN，用于常规α测试，同步采集温度-位移曲线。

2.激光干涉膨胀仪：氦氖激光波长632.8nm，干涉条纹分辨率0.3nm，非接触测量，消除推杆机械摩擦误差，适用于超薄试样。

3.差示膨胀仪：双试样差分设计，实时扣除系统热漂移，分辨率0.05×10⁻⁶/℃，用于微晶玻璃零膨胀区精准定位。

4.高温显微镜-膨胀联用：1600℃热台，放大倍率50-1000×，同步观察方石英析晶与膨胀突变，记录晶粒尺寸与α峰值关系。

5.低温液氮系统：可控-196-20℃，升温速率0.1-5℃/min，用于航天级石英低温α数据库建立。

6.快速退火炉：升温速率100℃/min，1100℃保温±1℃，用于退火前后α对比，消除加工残留应力。

7.热循环疲劳箱：室温↔800℃循环频率1-30次/h，自动记录长度变化，评估热震裂纹萌生阈值。

8.激光微膨胀扫描台：点间距1μm，扫描面积50×50mm²，获得α二维分布图，用于掺杂均匀性判定。

9.高温密度计：阿基米德法，0-1600℃惰性气氛，密度精度0.001g/cm³，同步校正高温折射率与α耦合模型。

10.应力-膨胀耦合加载台：0-100MPa伺服加载，精度±0.1MPa，实时测量应力对α的影响系数。

11.数字图像相关系统：500万像素高速相机，帧率1000fps，非接触测量热膨胀场，捕捉局部应变集中。

12.真空红外金炉：10⁻³Pa真空，最高1200℃，避免氧化表面析晶，保证高纯石英真实α数据。

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于石英玻璃热膨胀系数测试相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、JianCe、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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