高纯碳化硅检测

关键字:高纯碳化硅测试案例,高纯碳化硅测试范围,高纯碳化硅测试机构
所在栏目:材料检测实验室
发布时间:2025-05-12
信息来源:北检院
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检测项目

1.纯度分析:总杂质含量≤0.01%,非金属杂质(O、N)≤50ppm
2.晶体结构表征:晶格常数(a=3.0730.002),六方相含量≥99.5%
3.元素定量分析:Al≤5ppm、Fe≤3ppm、B≤0.5ppm
4.粒度分布测试:D50值0.5-10μm可调,跨度系数<1.2
5.表面形貌分析:晶粒尺寸偏差<5%,表面缺陷密度≤10/cm

检测范围

1.单晶碳化硅衬底:4H/6H晶型半导体基片
2.多晶碳化硅陶瓷:烧结体密度≥3.10g/cm
3.碳化硅粉体:α相含量>98%,比表面积2-20m/g
4.CVD碳化硅涂层:厚度10-500μm,结合强度>50MPa
5.碳化硅复合材料:纤维体积分数30-60%,界面剪切强度≥15MPa

检测方法

1.ASTMC1375-18:化学分析法测定总金属杂质
2.ISO14703:2020:激光衍射法粒度分布测试
3.GB/T16555-2017:碳化硅耐火材料化学分析方法
4.GB/T25995-2020:精细陶瓷密度测试方法
5.JISR1639-2018:XRD定量相分析标准
6.SEMIMF1724-1109:半导体级碳化硅缺陷检测规范

检测设备

1.RigakuZSXPrimusIVX射线荧光光谱仪:全元素快速筛查
2.Agilent7900ICP-MS:超痕量元素分析(检出限0.1ppb)
3.MalvernMastersizer3000激光粒度仪:0.01-3500μm测量范围
4.HitachiSU5000场发射扫描电镜:1nm分辨率表面形貌观测
5.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪:晶体结构精修分析
6.NetzschSTA449F3同步热分析仪:纯度热重法测定
7.KeysightE4990A阻抗分析仪:介电性能测试(1MHz-3GHz)
8.ShimadzuUV-3600iPlus紫外分光光度计:光学透过率测定
9.Instron5967万能材料试验机:三点弯曲强度测试(精度0.5%)
10.OxfordInstrumentsAZtecEnergyEDS系统:微区成分面分布分析

北检(北京)检测技术研究院【简称:北检院】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

以上是关于高纯碳化硅检测相关介绍,如果您还有其他疑问,可以咨询在线工程师提交您的需求,为您提供一对一解答。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系,科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广,可参考标准多(国标、企标、通标、工标、国际标准等)。

5、周期短,费用低,方案全。

6、支持定制化试验方案,数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全,团队强,后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断:包括失效分析、科学诊断、数据验证等,可以快速检测出产品问题,尽快止损;

2、其他鉴定服务:协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析;

4、研发使用:试验经验丰富,试验设备多,为科研工作提供数据支持;

3、高校论文:提供研究性实验数据、分析服务,给论文提供科学依据;

5、投标:检测周期短,准确性高,出具的第三方检测报告合法合规;

7、控制材料质量,进行产品内控,降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通,确定具体的试验方案,我方报价;

2、双方签订委托书,我方接收样品;

3、进行细节沟通,我方进行试验测试;

4、试验测试完成,出具检测测试报告;

5、委托完成,我方提供售后服务。

检测流程

检测仪器(部分)

实验仪器

实验仪器-手机

合作客户(部分)

合作客户

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