检测项目1.潜影分辨率:测量最小可识别特征尺寸(0.1μm-10μm)2.图像对比度:量化明暗区域灰度差异(ΔL≥0.01)3.灰度等级:评估阶调再现能力(8bit-16bit)4.缺陷密度:统计单位面积内异常点数量(≤5个/cm)5.厚度均匀性:测定涂层/基材厚度偏差(1%)6.残留应力:分析加工过程产生的内部应力值(<50MPa)7.环境稳定性:验证温湿度变化下的性能保持率(-40℃~85℃/5%~95%RH)检测范围1.光学薄膜:包括滤光片、增透膜等镀膜产品2.半导体晶圆:光刻胶层图形化结构及微电路