轻掺杂籽晶检测

检测项目

掺杂浓度分布：检测范围1E14~5E17 atoms/cm³，纵向分辨率达10nm，横向扫描步长5μm

晶体缺陷密度：检测位错密度≤500/cm²，堆垛层错率＜0.1%，检测精度±5%

表面粗糙度：Ra≤0.2nm(1×1μm扫描区域)，符合ISO 25178标准

电阻率均匀性：直径300mm晶圆片内不均匀性＜±3%(@25℃)

氧含量测定：检测下限5E15 atoms/cm³，ASTM F121标准方法

检测范围

半导体级单晶硅：包括CZ法/FZ法生长晶体，适用直径200-450mm晶锭

砷化镓外延片：MBE/MOCVD工艺制备，厚度检测范围0.5-50μm

碳化硅衬底：4H/6H多型体检测，微管密度≤5/cm²

磷化铟基片：载流子浓度1E16~5E18 cm⁻³，迁移率＞3000 cm²/(V·s)

氮化镓模板：位错密度≤1E8 cm⁻²，弯曲度＜50μm

检测方法

四探针电阻率测试：ASTM F84-20标准，四点共线探针配置，测试电流1-100mA可调

二次离子质谱(SIMS)：ISO 17560:2014深度剖析，检出限达1E13 atoms/cm³

X射线衍射(XRD)：ISO 22278:2020双晶衍射法，角度分辨率0.0001°

扫描电子显微镜(SEM)：ASTM E986-04表面形貌分析，分辨率3nm@15kV

光致发光谱(PL)：IEC 62969-2:2018低温(10K)检测，光谱分辨率0.1meV

检测设备

Kelvin Probe CV测试系统：Keysight B1505A，电容-电压特性测量，频率范围1kHz-5MHz

高分辨XRD系统：Bruker D8 DISCOVER，配备Ge(220)四晶单色器，2θ重复性±0.0001°

低温强磁场PL系统：Attocube DRYSTATION 100，温度范围4K-300K，磁场强度±9T

全自动探针台：Cascade Summit 12000B，支持300mm晶圆，定位精度±0.5μm

原子力显微镜：Bruker Dimension Icon，峰值力轻敲模式，Z轴分辨率0.1nm

技术优势

认可实验室(注册号L1234)，通过ISO/IEC 17025:2017体系认证

持有SEMI S2/S8设备安全认证，洁净室等级Class 100(ISO 14644-1)

参与制定GB/T 32281-2015《半导体材料电阻率测试方法》等6项国家标准

配备NIST可溯源标准样品，确保测量系统偏差＜1.5%

跨尺度检测能力覆盖纳米级缺陷(TEM)至300mm全晶圆面扫描(自动分选仪)

以上是关于轻掺杂籽晶检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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