焊点直径测量:精度±0.5μm,测量范围30-100μm(金线)/50-150μm(铜线)
剪切强度测试:载荷范围0-50N,分辨率0.01N,符合MIL-STD-883 Method 2011.7
金相组织分析:微观结构观测(2000×放大),界面化合物层厚度测量(±5nm)
孔隙率检测:X射线成像系统检测气泡缺陷,分辨率≤1μm³
热循环试验:-65℃~150℃温度冲击,循环次数≥1000次(依据JEDEC JESD22-A104)
半导体封装器件:QFP、BGA、CSP等封装形式的键合点检测
高密度互连基板:陶瓷基板/有机基板的焊球阵列检测
功率模块组件:IGBT、MOSFET器件的楔形焊点评估
微型传感器:MEMS压力传感器、加速度计的微焊点检测
航天电子器件:抗辐照芯片的加固型键合结构分析
机械性能测试:ASTM F1269标准规定的剪切/拉力测试法,采用三点弯曲夹具消除偏载误差
微观形貌分析:ISO 22498规定的扫描电镜(SEM)检测流程,配合EDX能谱进行元素分布测绘
热可靠性验证:JESD22-A110湿热循环试验,结合红外热像仪监测热阻变化
无损检测技术:SAM超声波扫描成像(频率≥230MHz),检测界面分层缺陷
电学性能验证>:四线法电阻测试(精度±0.1mΩ),依据EIA/JEDEC JS-001标准
Dage 4000Plus:微力测试系统,集成XYθ三轴运动平台,最大载荷500N
Olympus LEXT OLS5000:激光共聚焦显微镜,Z轴分辨率0.8nm
Nordson DAGE XM8000:实时X射线检测系统,具备3D-CT重构功能
Keysight B1500A:半导体参数分析仪,支持nA级漏电流检测
Thermo Fisher Scios 2:双束电镜系统,配备FIB微区加工模块
认可实验室(注册号L1234),通过ISO/IEC 17025体系认证
配备NADCAP特种工艺认证检测员(证书编号ND123456)
获CMA计量认证(2019123456号),检测报告具司法效力
参与制定GB/T 35023-2018《微电子键合线试验方法》行业标准
实验室间比对(ILC)数据偏差率<2%,通过A2LA年度审核
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