薄层电阻检测

检测项目

方块电阻(Sheet Resistance)：测量范围0.1 mΩ/sq~10 MΩ/sq，精度±1%

表面均匀性(Uniformity)：局部偏差≤±3%，全域偏差≤±5%

温度系数(TCR)：-50℃~200℃范围内测量精度±0.5%/℃

接触电阻(Contact Resistance)：四线法测量分辨率0.01 μΩ·cm²

膜厚相关性(Thickness Correlation)：结合椭偏仪数据验证R=ρ/t关系式

检测范围

半导体材料：硅片(单晶/多晶)、砷化镓(GaAs)、碳化硅(SiC)基板

导电薄膜：ITO(氧化铟锡)、AZO(铝掺杂氧化锌)、石墨烯涂层

光伏材料：PERC电池发射极、HJT非晶硅层

柔性电子：银纳米线网格、PEDOT:PSS有机导电膜

金属镀层：磁控溅射铝/铜薄膜、化学镀镍层

检测方法

四探针法：ASTM F84-20《半导体材料电阻率测试标准》、GB/T 1551-2021《硅单晶电阻率测定方法》

范德堡法：ISO 1853:2018《导电橡胶体积电阻率测量》

非接触涡流法：IEC 60404-13:2018《磁性材料薄层阻抗测试》

扩展电阻分析：SEMI MF525-0317《晶圆掺杂浓度测试规范》

微波阻抗谱法：GB/T 35031-2018《微波频段薄膜电阻测试通则》

检测设备

四探针测试系统：Four Dimensions Model 2800(支持0.01μΩ~100MΩ量程)

非接触式涡流仪：Lucas Labs 302系列(频率范围10kHz~10MHz)

高低温探针台：Cascade Summit 12000B(温控范围-65℃~300℃)

纳米级接触分析仪：Keithley 4200A-SCS(最小接触压力0.1mN)

微波阻抗分析仪：Keysight N5247B(频率覆盖10MHz~67GHz)

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于薄层电阻检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

上一篇：电极端腐蚀检测
下一篇：拉晶杆检测

本文地址：https://www.beijianceshi.com/bjcs-info/16319.html