線寬检测

检测项目

1.线宽偏差：测量实际线宽与设计值的差异范围(0.1μm~5μm)
2.边缘粗糙度：量化线条边缘波动幅度(Ra0.02-0.5μm)
3.线宽均匀性：评估同一平面内线宽变化率(≤3%)
4.侧壁角度：检测线条截面倾斜角度(85-95)
5.临界尺寸一致性：监控批量产品线宽标准差(σ≤0.15μm)

检测范围

1.半导体晶圆：光刻线路/晶体管栅极结构
2.PCB基板：高频电路/微带传输线
3.光学掩膜版：光栅结构/衍射元件
4.金属薄膜器件：MEMS传感器/薄膜电阻
5.柔性电子器件：OLED阳极线路/纳米银线电路

检测方法

1.ASTMF533-15：半导体器件线宽扫描电镜测量规范
2.ISO14648-2：微图形尺寸光学显微测量标准
3.GB/T16594-2008：微米级长度显微测量方法
4.GB/T3505-2009：表面粗糙度参数计算标准
5.ISO14978:2018：几何量测量设备通用技术要求

检测设备

1.KLA-TencorATL系列：3D激光共聚焦显微镜(0.8nm重复精度)
2.HitachiCG4000扫描电镜：5kV低电压模式纳米级成像
3.OlympusOLS5000激光显微系统：408nm波长光学干涉测量
4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.1垂直分辨率
5.NikonMM-400测量显微镜：双远心物镜自动对焦系统
6.ZygoNewView9000相移干涉仪：20物镜0.13μm横向分辨率
7.KeyenceVHX-7000数字显微镜：4KCMOS多焦距合成成像
8.LeicaDCM8共聚焦显微镜：405nm激光光源三维重构
9.VeecoNT9100光学轮廓仪：12mm12mm大视场扫描
10.CarlZeissAxioCSM700：电动载物台自动多点测量系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于線寬检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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