抛物线生长检测

检测项目

1.曲率半径偏差：激光干涉法测量实际曲率与理论值差异(精度0.05mm)
2.厚度分布梯度：台阶仪扫描轴向厚度变化率(允许偏差≤3%)
3.表面粗糙度：白光干涉仪测定Ra值(阈值＜0.1μm)
4.热应力系数：X射线衍射法计算残余应力(范围200MPa)
5.晶格畸变率：高分辨透射电镜分析位错密度(标准＜10^4/cm)

检测范围

1.单晶硅抛物线形外延层(直径100-300mm)
2.CVD法制备碳化硅衬底(厚度0.5-2.0mm)
3.光学级抛物面镜镀膜(波长400-1600nm)
4.金属有机框架抛物线涂层(层厚50-200nm)
5.半导体量子阱抛物线异质结(周期10-50nm)

检测方法

1.ASTMF534-19半导体晶圆曲率测试规范
2.ISO10110-5:2015光学元件面形公差评定
3.GB/T4340.2-2012金属材料显微硬度试验
4.ISO25178-2:2022表面纹理三维表征标准
5.GB/T13301-2019晶体缺陷X射线衍射测定方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪(波长632.8nm，PV值分辨率λ/100)
2.BrukerD8DiscoverX射线衍射仪(Cu靶Kα辐射，角度重复性0.0001)
3.KLATencorP-17台阶仪(扫描长度100mm，垂直分辨率0.1)
4.FEITalosF200X透射电镜(点分辨率0.16nm，STEM模式HAADF探测器)
5.MitutoyoCrysta-ApexS三坐标测量机(空间精度0.6+L/400μm)
6.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜(横向分辨率120nm)
7.ThermoFisherScios2DualBeamFIB-SEM(束流范围1pA-50nA)
8.ShimadzuHMV-G21显微硬度计(载荷范围10gf-2kgf)
9.Agilent5500原子力显微镜(扫描范围90μm90μm10μm)
10.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪(空间分辨率0.5μm)

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于抛物线生长检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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