低能电子检测

检测项目

1.电子能量分布：测量0.1-30keV范围内能量分辨率(ΔE/E≤0.5%)及峰位偏移量
2.束流均匀性：扫描区域≥1010mm时束流密度偏差≤3%
3.剂量率稳定性：连续工作8小时剂量率波动≤1.5%
4.空间分辨率：二次电子成像分辨率≤5nm@15keV
5.表面电荷效应：绝缘材料表面电位漂移量≤0.5V/min

检测范围

1.半导体晶圆：硅/锗基材缺陷(尺寸≥50nm)及掺杂均匀性分析
2.有机薄膜涂层：厚度测量(10-500nm)及界面结合状态表征
3.生物样本：冷冻干燥组织表面拓扑结构(Z轴分辨率≤2nm)
4.纳米颗粒：粒径分布(1-100nm)及团聚效应评估
5.光电材料：量子点能带结构(精度0.02eV)及载流子迁移率测定

检测方法

1.ASTME1571-21：电子束流密度分布的扫描法拉第杯法
2.ISO16700:2019：扫描电镜图像分辨率校准规程
3.GB/T28871-2021：微束分析仪器X射线能谱仪性能参数测试方法
4.ISO21363:2020：纳米颗粒尺寸分布的透射电镜测定法
5.GB/T35033-2018：电子探针定量分析用标准样品技术规范

检测设备

1.ThermoFisherApreoSEM：配备场发射电子枪(FEG)，实现1nm@30kV超高分辨率成像
2.KLAeDR-7000系列：专用电子束缺陷检测系统，支持300mm晶圆全自动扫描
3.BrukerQuantaxEDS：硅漂移探测器(SDD)，能量分辨率≤123eV@MnKα
4.HitachiSU9000UHR-SEM：冷场发射源设计，束流稳定性0.5%/h@1nA
5.ZeissGeminiSEM500：镜筒内二次电子探测器(Inlens)，工作电压0.02-30kV可调
6.JEOLJIB-4700FFIB-SEM：聚焦离子束系统集成气体注入装置(GIS)
7.OxfordInstrumentsAZtecLiveEBSD：高速电子背散射衍射系统(1000点/秒)
8.TESCANMIRALMS：全自动样品台支持五轴联动(X/Y/Z/倾斜/旋转)
9.Agilent8500FSEM：配备阴极荧光谱仪(CL)，光谱范围200-1600nm
10.FEIHeliosG4UX：双束系统支持TEM样品制备(厚度<100nm)

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于低能电子检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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