真空电子封装漏率质谱分析

检测项目

泄漏率检测：

• 氦气漏率：≤1×10^{-9}Pa·m³/s(参照ISO3530)
• 空气漏率：≤5×10^{-8}Pa·m³/s(参照ASTME493)
• 最小可检测漏率：1×10^{-12}mbar·L/s

真空维持能力：

• 压力上升速率：≤10^{-3}Pa/h
• 真空度保持时间：≥72h(极限真空10^{-8}mbar)

材料出气特性：

• 总质量损失：TML≤1.0%(参照ASTME595)
• 收集挥发性可冷凝物：CVCM≤0.1%
• 水汽释放率：≤50μg/g

密封界面强度：

• 剪切强度：≥20MPa(参照GB/T527)
• 剥离强度：≥15N/cm(参照ISO8510)

气体成分分析：

• 氧气含量：≤100ppm
• 水分含量：≤50ppm(参照MIL-STD-883)

热循环密封性：

• 热冲击后漏率变化：ΔRL≤20%
• 温度范围：-65℃至+150℃

机械振动密封性：

• 振动后漏率：≤初始值150%
• 频率范围：10-2000Hz(振幅2g)

化学兼容性：

• 溶剂暴露后密封性：漏率变化≤10%
• 腐蚀介质耐受：酸/碱环境测试

长期老化测试：

• 加速老化后漏率：≤指定值(温度85℃/湿度85%)
• 寿命预测：MTTF≥10年

包装完整性检查：

• 视觉检查：无裂纹气泡
• X射线检测：密度均匀性偏差≤5%

检测范围

1.陶瓷封装：氧化铝或氮化铝基板，重点检测界面密封热膨胀匹配及裂纹缺陷

2.金属封装：铜合金或科瓦合金外壳，侧重焊接密封强度及腐蚀防护性能

3.塑料封装：环氧树脂或聚酰亚胺材料，检测气体渗透率及湿热老化影响

4.复合材料封装：陶瓷-金属复合结构，关注界面分层失效及热循环稳定性

5.MEMS器件封装：硅基微机电系统，突出纳米级泄漏检测及振动耐受性

6.晶圆级封装：硅晶圆真空密封，重点检测真空维持能力及残余气体污染

7.光电器件封装：激光二极管或LED组件，检测气体成分对光学性能影响

8.航天电子封装：卫星或火箭用密封件，测试极端温度真空泄漏及抗辐照性

9.医疗植入封装：生物兼容密封组件，侧重长期密封稳定性及无菌环境测试

10.汽车电子封装：发动机控制单元，检测高温高压下泄漏率控制及机械冲击耐受

检测方法

国际标准：

• ISO3530-2020氦质谱泄漏检测方法
• ASTME595-18材料出气特性测试
• MIL-STD-883-2032微电子器件密封性试验
• ISO15848-1-2021阀门泄漏率测量

国家标准：

• GB/T18443.5-2021真空设备泄漏检测方法
• GB/T2423.22-2021环境试验热循环测试
• GB/T10125-2021盐雾腐蚀试验
• GB/T16823.3-2021螺纹紧固件密封性能

方法差异说明：ISO与GB泄漏率单位换算差异(mbar·L/svsPa·m³/s)，ASTM热循环温变速率较快于GB标准。

检测设备

1.质谱检漏仪：HLD6000型(检测下限1×10^{-12}mbar·L/s)

2.真空泵：HiPace80型(极限真空10^{-8}mbar)

3.压力计：972B型(测量范围10^{-6}to1000mbar)

4.热真空室：T-3型(温度范围-70℃to+180℃)

5.振动试验台：V455型(最大加速度10g)

6.气体分析仪：490MicroGC型(检测限ppm级)

7.拉力试验机：Z050型(载荷500N)

8.显微镜：BX53型(放大1000x)

9.X射线检测系统：FF35CT型(分辨率5μm)

10.气候试验箱：WK3-180/40型(湿度控制±1%)

11.数据采集系统：cDAQ-9188型(采样率100kS/s)

12.光谱仪：USB2000+型(波长范围200-1100nm)

13.密封性测试仪：AccuTrak型(压力范围0-100psi)

14.老化试验箱：KBF240型(温度精度±0.5℃)

15.激光干涉仪：Verifire型(精度0.1nm)

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

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注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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