1.质量分辨率:测量范围为1-10000Da,分辨率≥15000(m/Δm)
2.质量精度:误差范围0.002Da(内标校正后)
3.检出限:元素级≤1ppm,分子级≤10pg/cm
4.动态范围:信号强度线性响应范围≥10⁶
5.深度分辨率:纵向分析精度≤1nm(溅射速率0.1-5nm/s)
1.半导体材料:硅基晶圆(300mm)、GaN外延片、光刻胶残留物
2.金属合金:钛铝基高温合金表面氧化层、铜互连结构杂质分布
3.高分子聚合物:PMMA薄膜降解产物、PET表面改性层成分
4.生物样品:细胞膜磷脂分布、药物载体涂层均匀性
5.纳米材料:量子点表面配体覆盖率、石墨烯掺杂浓度梯度
ASTME1504-11(2021):二次离子质谱定量分析规程
ISO18118:2022表面化学分析-飞行时间二次离子质谱校准方法
GB/T40111-2021表面化学分析-飞行时间二次离子质谱通则
ISO21363:2020纳米技术-纳米物体尺寸分布的TOF-SIMS测定
GB/T35099-2018微束分析-飞行时间二次离子质谱术语
1.TOFWERKV系列:配备30kVBi₃⁺液态金属离子枪,质量分辨率>20000
2.IONTOFTOF.SIMS5:双束溅射系统(Ar团簇+Cs⁺),深度剖析模式
3.PHInanoTOFII:集成AFM联用模块,实现3D纳米级成分成像
4.Ulvac-PhiTRIFTV:三重聚焦飞行管设计,质量精度0.0005Da
5.BrukermaXisII:ESI源兼容型TOF-MS,生物大分子分析专用
6.HidenSIMSWorkstation:配备RF等离子体源,支持绝缘样品分析
7.CamecaNanoSIMS50L:多接收器系统,同位素比测量精度0.1‰
8.ShimadzuTOF-SIMSAC:高温样品台(最高800℃),催化材料原位分析
9.SPECSTOF.Phoenix:脉冲电子补偿装置,降低表面荷电效应
10.KoreTechnologyFASTRAK:紧凑型台式系统,快速筛查模式(<3min/样)
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
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1、工业问题诊断:包括失效分析、科学诊断、数据验证等,可以快速检测出产品问题,尽快止损;
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4、研发使用:试验经验丰富,试验设备多,为科研工作提供数据支持;
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