检测项目1.线性度误差:测量范围0.1-1000μm时允许偏差≤0.5%FS2.重复性误差:同一样品10次测量RSD<1.2%3.分辨率验证:最小可识别单位0.01μm(光学法)或0.1μm(机械法)4.边界识别精度:边缘定位误差≤2像素(数字图像法)5.动态响应特性:采样频率≥200Hz时的数据丢失率<0.05%检测范围1.电子元件:半导体芯片引脚间距/直径测量2.机械零件:轴承滚珠直径分布统计3.生物样本:血细胞计数与粒径分析4.粉末材料:金属/陶瓷粉体粒度分布测定5.光学器件:微透镜阵列表面缺陷识别